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高速分选机

半导体转塔式分选设备用于芯片测试后高速分选,通过多工位协同完成抓取、测试、分类动作,是 UPH(每小时分选芯片数量)最高的一类分选机,在高速运行下,既要保证重复定位精度,又要保证较低的 Jam Rate(故障停机比率),这些对分选机设备开发提出了更高的要求,而传统的伺服减速电机方案是无法达到满足要求,尤其随着半导体行业的快速发展,主转盘工位(高速转塔)的运行速度、转动精度、振动幅度和跳动幅度等因素决定了高速分选机的生产效率和稳定性,是整台设备的高效运行的核心,这也对高速转塔工位应用的转盘直驱马达的精度、速度、稳定性要求越来越高。

高速分选机

应用与解决方案

高速分选机主转盘应用

转塔式分选机尤其适用于小型片式半导体分立元件的打标、测试、分选和包装,是一种主转盘在中心,各个测试工位按照顺序均布在主电机周围的一种高速分选机,通常包含工位16个或者24个,具有占地面积小、精度高、速度快等特点,常规转塔式测试分选机技术要求一般如下:
●16–24个工位/旋转角度15°~ 22.5°
●单工位转动时间:18 – 22ms
●转盘惯性:0.003 ~ 0.020 kg.m2
●测试时间:35–60ms
●产能:30-60 k UPH
●向下/向上Z轴的平均移动时间:3-20ms
雅科贝思推出ADR-H系列直驱电机来满足转塔应用的此类运动曲线,高速度响应性和低端跳,搭配专用伺服驱动与高精度编码器做全闭环控制,ADR-H系列采用了低惯量设计,如:20工位分选机,18°行程,可以在22ms内完成到位和整定。

上下Z轴精密力控应用

雅科贝思MBV系列音圈电机模组由圆柱型音圈电机适用于短行程、高速、高加速直线应用,无齿槽效应,可以直接安装到旋转+下压轴,节省空间、省线缆,提高可靠性,结构紧凑、内置弹簧配重,行程从6mm和8mm,重复定位精度±50μm,搭配专用伺服驱动,可以实现软着陆工艺,位置模式和速度模式的切换,实现高精密力控。

通过主转盘直驱方案与上下料Z轴成套方案能确保整个IC高速分选机的稳定性和高UPH值,整合打标系统和影像系统,可以为客户带来高质量编带输出,完整的解决方案能够应对IC高速分选机应用的挑战性技术要求。

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