晶圆机械手
晶圆机械手是半导体制造设备中的核心精密机器人，专门用于在高度洁净的真空或惰性气体环境下，高速、高精度、无污染地自动搬运硅片或者晶圆，在半导体制造的不同工序，如：光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗、检测等之间或工序内部的各个反应腔室/模块之间，安全、快速、精确地传输晶圆。在追求更高精度、更高速度、更高洁净度和更高可靠性的驱动下，直驱产品已逐步应用于晶圆机械手领域，伴随直驱产品设计制造、磁性材料、位置传感和先进运动控制算法的发展成熟和成本逐渐下降，性能不断提升，推动着高端晶圆机械手不断地向前发展。
应用与解决方案
晶圆机械手应用
基本上所有的单片晶圆加工设备都需要大气机器人，所有需要真空腔体的设备都需要真空机器人。晶圆机械手正在朝向更高精度、更高速度、更严苛洁净度、更高可靠性和更低维护成本的方向发展。
既要面临严苛真空和温控腔室的晶圆传输挑战，又要兼顾超高扭矩密度、极致紧凑性与真空兼容性要求，雅科贝思推出ADR系列无框力矩电机搭配带抑振伺服驱动的成套方案，ADR系列无框力矩电机具有高扭矩密度，可满足高速高负载搬运动作。
针对预对准工艺需攻克大孔径、低齿槽转矩、超薄紧凑与高速响应的技术难点，雅科贝思推出ALM-T系列无铁芯直线电机，零齿槽力、轻量化、高响应，以及AXD系列中空力矩电机，具有高扭矩、小体积、大通孔的特性，支持高速旋转，可选绝对值编码器，提升定位精度，搭配专用伺服驱动，实现同步精准控制。
