系列型号
| 系列型号 | 持续推力(N) | 峰值推力(N) | 行程(mm) | 重复定位精度(μm) |
|---|---|---|---|---|
| AAL270-100 | 85 | 433 | 100 | ±0.075 |
| AAL270-200 | 85 | 433 | 200 | ±0.1 |
| AAL270-300 | 85 | 433 | 300 | ±0.15 |
| AAL270-400 | 85 | 433 | 400 | ±0.2 |
| AAL270-500 | 85 | 433 | 500 | ±0.2 |
产品特性
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01高刚性、无摩擦静压气浮导向实现绝对顺滑的匀速扫描运动
高刚性、无摩擦静压气浮导向实现绝对顺滑的匀速扫描运动
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02
超精等级几何精度(直线度、平面度、角度精度)满足高端定位系统需求
超精等级几何精度(直线度、平面度、角度精度)满足高端定位系统需求
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03
导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损
导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损
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04
内置线缆管理以及模组化XY堆叠设计简化系统集成工作
内置线缆管理以及模组化XY堆叠设计简化系统集成工作
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05
适用于半导体晶圆检测、激光微加工、钻石单晶车床等应用
适用于半导体晶圆检测、激光微加工、钻石单晶车床等应用
