产品特性
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015轴全直驱，其中XYZ三轴为直线电机，A/C轴为直驱力矩电机
5轴全直驱，其中XYZ三轴为直线电机，A/C轴为直驱力矩电机
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02
XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋转角度
XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋转角度
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03
XYZ气冷设计，控制温升，重复定位精度可达±0.75μm
XYZ气冷设计，控制温升，重复定位精度可达±0.75μm
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04
XYZ轴最大速度1m/s,最大加速度3-4g
XYZ轴最大速度1m/s,最大加速度3-4g
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05
Z轴采用电磁弹簧设计，安全性高
Z轴采用电磁弹簧设计，安全性高
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06
5轴均内置高精度光栅尺反馈
5轴均内置高精度光栅尺反馈
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07
5轴均内置高精度光栅尺反馈
5轴均内置高精度光栅尺反馈
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08
典型应用领域：2D/3D高精度检测与测量
典型应用领域：2D/3D高精度检测与测量
