透镜/AWG耦合

光耦合设备作为光模块核心组件，承担光芯片与光纤间的高效光子互连，其亚微米级对准精度直接影响传输性能，当前主要面临热漂移导致的光路失准、多级透镜组带来的插损累积，以及复杂封装工艺推高的量产成本，直驱技术通过光芯片直接驱动光纤端面，省去传统透镜系统，将耦合效率做了大幅提升，同时增强热稳定性，简化封装流程提高良率水平，这种革新路径为400G/800G高速模块提供了更具竞争力的产业化解决方案。

应用与解决方案

透镜/AWG耦合应用

透镜/AWG耦合设备主要应用于光模块后道透镜/光纤模块的核心贴装工艺，如AWG自动化耦合系统利用精密定位和光学反馈控制，实时调整光纤与阵列波导光栅（AWG芯片）的对准位置，确保光信号高效传输，透镜耦合则是在光路中合适位置固定透镜模块将发散的光信号聚焦准直到目标位置，减少光传输过程中的损耗。

该耦合工艺是通过提供标准光源的光信号接入到需要耦合的模块转换得到的模拟信号，与视觉系统的初始对准+3D高精度运动模组带有透镜/光纤模块的配合，辅以多种粗循光/精找光算法实现光纤/透镜单元随空间位置变动而找寻最佳光功率位置的高精度工序，需要做到高速多重模拟信号采样稳定性和亚微米级的重复精度。

在成功找寻到最佳光功率位置时，需要点入固化胶并使用UV灯照射固化，这就需要在固化阶段XYZ位置不能有较大波动否则影响到光功率跌落造成工序报废。需要低于±50nm的静态跳动可保证光功率稳定性在耦合最佳值的±100uw范围。

雅科贝思提供XYZ超精密运动平台，3轴均使用无铁芯高响应直线电机高精度光栅尺，高直线度高刚性导轨，Z轴机构使用精密气缸或磁弹簧机构配重，实现XY轴160mm，Z轴60mm，重复定位精度±0.1um，使用高性能驱控系统模拟采样运动控制通过API和多种上位进行交互，包含多种底层基于DSP开发的找光算法：螺旋找光，直线遍历，直线遍历-3db模式，Z轴功率爬坡等运动算法，实现100um 2D幅面内粗找光时间<2s，20um直线范围遍历时间<1s.且支持合作二次开发。