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圆晶平台分类

圆晶平台运用直驱技术,搭载高精度光栅尺与无铁芯直线电机,具备高刚性与高稳定性,可实现纳米级定位精度,能有效应对晶圆加工、检测等环节对超精密定位与平稳运动的严苛需求 。

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